- PAO test tập trung vào tính toàn vẹn của HEPA sau lắp đặt
- Aerosol được đưa vào phía upstream của HEPA
- Downstream được quét ở đâu?
- PAO test phát hiện những lỗi nào?
- PAO test khác với kiểm tra hiệu suất lọc
- Thời điểm nào phù hợp để thực hiện PAO test?
- Giải pháp Dispensing Booth tại Vietnam Cleanroom
- Kết luận
- FAQs
PAO test tập trung vào tính toàn vẹn của HEPA sau lắp đặt
Trong Dispensing Booth, HEPA được lắp trong housing và kết nối với hệ thống thông qua khung giữ, gasket hoặc cơ cấu làm kín. Hiệu suất của vật liệu lọc chỉ là một phần của toàn bộ hệ thống. Trạng thái lắp đặt quyết định dòng khí thực tế có đi hoàn toàn qua media hay xuất hiện đường bypass tại các vị trí tiếp giáp.
PAO test sử dụng aerosol thử được đưa vào phía trước bộ lọc. Phía sau HEPA, thiết bị đo quang học quét từng khu vực để phát hiện sự gia tăng aerosol bất thường.
ISO 14644-3:2019 – Cleanrooms and associated controlled environments/Part 3: Test methods quy định phương pháp kiểm tra rò hệ thống lọc hiệu suất cao đã lắp đặt. Mục tiêu của phép thử là xác nhận bộ lọc được lắp đúng, không xuất hiện bypass qua hệ thống và không có hư hỏng trên media, khung hoặc seal.
PAO test đánh giá toàn bộ cụm filter – seal – housing trong trạng thái làm việc thực tế của Dispensing Booth.
Aerosol được đưa vào phía upstream của HEPA
Upstream là phía dòng khí trước khi đi qua HEPA. Aerosol PAO được đưa vào khu vực này để tạo nồng độ thử đại diện trên bề mặt lọc.
Dòng aerosol phải hòa trộn đủ với không khí trước khi tiếp cận HEPA. Phân bố quá lệch về một phía làm mức challenge trên các vùng của bộ lọc khác nhau, từ đó giảm độ tin cậy khi so sánh tín hiệu downstream.
Điểm lấy mẫu upstream dùng để xác định nồng độ aerosol tham chiếu. Giá trị này trở thành cơ sở so sánh với lượng aerosol phát hiện sau bộ lọc.
Vị trí injection phụ thuộc cấu trúc Dispensing Booth, khoảng trộn khí, quạt và cách bố trí HEPA. Với hệ có nhiều filter, aerosol phải tiếp cận đầy đủ các vùng lọc tham gia phép thử.
Upstream tạo điều kiện đầu vào của PAO test, trong đó độ đồng đều aerosol quyết định độ tin cậy của quá trình quét phía sau HEPA.
Downstream được quét ở đâu?
Phía downstream là khu vực sau HEPA, nơi dòng khí đã đi qua hệ lọc. Đây là vùng trực tiếp phát hiện đường rò.
Theo phương pháp kiểm tra hệ lọc đã lắp trong ISO 14644-3:2019, quá trình quét tập trung vào bề mặt lọc và kết cấu lắp đặt liên quan.
Các vị trí chính gồm:
| Vị trí quét | Nội dung đánh giá |
|---|---|
| Toàn bộ mặt HEPA | Phát hiện lỗ hoặc hư hỏng cục bộ trên media |
| Chu vi bộ lọc | Xác định rò tại mép filter |
| Gasket hoặc seal | Đánh giá độ kín giữa filter và housing |
| Khung giữ lọc | Phát hiện sai lệch tại vị trí cố định HEPA |
| Điểm nối quanh housing | Xác định đường bypass ngoài media |
| HEPA trên tuyến xả | Kiểm tra tính toàn vẹn nếu cấu hình có lọc khí xả |
Đầu dò di chuyển trên toàn bộ khu vực đánh giá để xác định vị trí tín hiệu tăng cục bộ.
Downstream là vùng định vị chính xác điểm rò trên cả media và kết cấu làm kín của hệ HEPA.
PAO test phát hiện những lỗi nào?
Rò HEPA có thể hình thành trong quá trình vận chuyển, lắp đặt, thay lọc hoặc bảo trì.
Media bị thủng tạo đường xuyên trực tiếp qua vật liệu lọc. Gasket ép lệch làm xuất hiện khe hở tại mép filter. Cơ cấu giữ siết không đồng đều làm lực ép giữa filter và housing thay đổi theo từng vị trí.
Một trường hợp khác là bypass leakage, khi dòng khí đi vòng qua bộ lọc qua khe tại khung hoặc vị trí tiếp giáp. Trở lực tổng của hệ thống vẫn có thể duy trì trong vùng vận hành dù đường rò cục bộ đã xuất hiện.
Khi photometer ghi nhận tín hiệu cao tại một vị trí downstream, khu vực đó được khoanh vùng để xác định lỗi nằm ở media, seal hay kết cấu lắp đặt.
Khả năng định vị rò cục bộ là giá trị quan trọng nhất của PAO test đối với hệ HEPA trên Dispensing Booth.
PAO test khác với kiểm tra hiệu suất lọc
PAO test và kiểm tra hiệu suất HEPA trả lời hai vấn đề kỹ thuật khác nhau.
Kiểm tra hiệu suất tập trung vào khả năng giữ hạt của bộ lọc. PAO test sau lắp đặt tập trung vào tính toàn vẹn của toàn bộ hệ lọc.
Sự khác biệt có thể tóm tắt như sau:
| Phép đánh giá | Nội dung chính |
|---|---|
| Hiệu suất HEPA | Khả năng giữ hạt của bộ lọc |
| PAO test | Đường rò trên filter, seal và housing |
| Đo chênh áp | Trở lực của filter trong quá trình vận hành |
| Particle count | Nồng độ hạt trong môi trường hoặc vùng làm việc |
Một bộ lọc có hiệu suất danh định phù hợp vẫn có thể xuất hiện rò sau khi lắp nếu gasket hoặc housing mất độ kín.
PAO test bổ sung dữ liệu về integrity mà thông số hiệu suất hoặc chênh áp riêng lẻ chưa thể hiện được.
Thời điểm nào phù hợp để thực hiện PAO test?
PAO test cho Dispensing Booth thường gắn với các mốc có tác động trực tiếp đến cụm HEPA.
Sau khi lắp mới, phép thử xác nhận trạng thái filter và housing trước khi đưa thiết bị vào vận hành. Sau thay HEPA, test xác nhận lại seal và kết cấu giữ lọc. Các lần tháo lắp housing, điều chỉnh cơ cấu ép hoặc can thiệp vào vùng filter cũng tạo ra điều kiện đánh giá lại integrity.
Quạt vận hành ở trạng thái đại diện giúp phép thử phản ánh đúng điều kiện dòng khí qua hệ lọc.
Thời điểm PAO test gắn trực tiếp với những thay đổi có khả năng làm biến đổi độ kín của cụm HEPA trên Dispensing Booth.
Giải pháp Dispensing Booth tại Vietnam Cleanroom
Vietnam Cleanroom thiết kế và cung cấp Dispensing Booth với hệ lọc phù hợp theo tải bụi, lưu lượng và yêu cầu vận hành của từng khu vực cân chia.
Vị trí HEPA, housing, điểm tiếp cận downstream và phương án đưa aerosol vào upstream được tính từ giai đoạn thiết kế để hỗ trợ quá trình kiểm tra integrity. VCR đồng thời triển khai PAO test trong quá trình kiểm tra, nghiệm thu hoặc sau thay lọc theo yêu cầu của từng hệ thống.

Kết luận
PAO test trên Dispensing Booth đánh giá tính toàn vẹn của hệ HEPA sau lắp đặt thông qua hai vùng chính: upstream tạo aerosol challenge và downstream quét tìm rò.
Phạm vi kiểm tra bao gồm mặt HEPA, chu vi filter, gasket, khung giữ và housing. Kết quả giúp xác định chính xác vị trí mất độ kín và phản ánh trạng thái thực tế của toàn bộ cụm lọc trong quá trình vận hành.
FAQs
PAO test có quét toàn bộ mặt HEPA không?
Có. Toàn bộ bề mặt lọc và chu vi lắp đặt đều nằm trong phạm vi đánh giá để phát hiện rò cục bộ.
Vì sao PAO test phải đo aerosol upstream?
Nồng độ upstream tạo giá trị tham chiếu trước bộ lọc, phục vụ so sánh với tín hiệu phát hiện ở downstream.
PAO test có giống đo chênh áp HEPA không?
Hai phép đo phản ánh hai thông tin khác nhau. Chênh áp thể hiện trở lực dòng khí; PAO test đánh giá đường rò trên hệ lọc đã lắp.
Sau khi thay HEPA có thực hiện lại PAO test không?
Thay lọc tác động trực tiếp đến filter, gasket và cơ cấu giữ. PAO test sau lắp đặt xác nhận lại tính toàn vẹn của cụm HEPA – seal – housing.



